特許
J-GLOBAL ID：200903089695023517
半導体角速度検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-183553
公開番号（公開出願番号）：特開平10-026532
出願日： 1996年07月12日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：
【要約】【課題】 この発明は、検出感度、検出精度を向上させることができる半導体角速度検出装置を得る。【解決手段】 この発明の半導体角速度検出装置は、第1の基板21と、この第1の基板21に設けられた110面の面方位を有するシリコンからなる検出本体と、第1の基板21と協働して検出本体を閉じる第2の基板とを備え、検出本体は、第1の基板21に固定された支持部25と、この支持部25に接続され振動駆動源によって第1の基板の面に沿った振動を与える力と第1の基板に対して垂直方向に働くコリオリ力との合力により先端部が楕円軌道を描く梁部26とから構成された振動子27を有しており、梁部27の基端部が支持部25とともに第1の基板21に固定されているものである。
請求項（抜粋）：
第1の基板と、この第1の基板に設けられた検出本体と、前記第1の基板と協働して前記検出本体を挟む第2の基板とを備え、前記検出本体は、基端部が前記第1の基板に固定されているとともに、先端部が振動駆動源によって第1の基板の面に沿った振動を与える力と第1の基板に対して垂直方向に働くコリオリ力との合力により楕円軌道を描く梁部を有する振動子を備えている半導体角速度検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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