特許

J-GLOBAL ID：200903089698733159

静電容量式センサ

発明者： 石黒 克之 ,  小野 泰一 ,  長谷川 和男 ,  橋本 大一
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (1件)： 志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-223607
公開番号（公開出願番号）：特開2003-329444
出願日： 2002年07月31日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、二軸回りでの容量検出を行なうのに好適な静電容量式センサに関し、大きな容量変化が得られるようにすることを目的とする。【解決手段】 支持部3aと、支持部3aにより第1の軸回りに揺動可能に支持された中間部3bと、中間部3bにより第1の軸と直交する第2の軸回りに揺動可能に支持された可動部3dと、可動部3dに設けられた重り4と、可動部3dに設けられた可動電極と、可動電極に対向する固定電極1aが形成された基板1とを備えて構成し、可動電極と固定電極1aとの少なくとも一方は複数設けられ、可動電極と固定電極1aとの間の静電容量を検出する。

請求項（抜粋）：

支持部と、前記支持部により第1の軸回りに揺動可能に支持された中間部と、前記中間部により前記第1の軸と直交する第2の軸回りに揺動可能に支持された可動部と、前記可動部に設けられた重りと、前記可動部に設けられた可動電極と、前記可動電極に対向する固定電極が形成された基板とを備え、前記可動電極と前記固定電極との少なくとも一方は複数設けられ、前記可動電極と前記固定電極との間の静電容量を検出自在としたことを特徴とする、静電容量式センサ。

IPC (3件)：

G01C 9/06 ,  G01C 9/12 ,  G01P 15/125

FI (3件)：

G01C 9/06 C ,  G01C 9/12 R ,  G01P 15/125 Z