特許

J-GLOBAL ID：200903089699786663

光学装置、露光装置、並びにデバイス製造方法

発明者： 柴崎 祐一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-181463
公開番号（公開出願番号）：特開2005-019628
出願日： 2003年06月25日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：

【課題】簡素な構成で、光学部材の収差を補正あるいは解消することが可能な光学装置を提供する。【解決手段】光学装置は、エネルギービームILの光路上に配置される光学部材CMを加熱する発熱体101を備える。発熱体101は、光学部材CMの収差に基づく発熱分布を有する。【選択図】 図5

請求項（抜粋）：

エネルギービームの光路上に配置される光学部材を備える光学装置であって、 前記光学部材を加熱する発熱体を備え、 前記発熱体は、前記光学部材の収差に基づく発熱分布を有することを特徴とする光学装置。

IPC (4件)：

H01L21/027 ,  G02B5/10 ,  G02B7/198 ,  G03F7/20

FI (5件)：

H01L21/30 515D ,  G02B5/10 B ,  G03F7/20 503 ,  H01L21/30 516E ,  G02B7/18 B

Fターム (16件)：

2H042DA20 ,  2H042DB02 ,  2H042DD11 ,  2H042DE07 ,  2H043BC01 ,  2H097AA03 ,  2H097BA02 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  5F046BA05 ,  5F046CB02 ,  5F046DA13 ,  5F046DA26 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01