特許
J-GLOBAL ID：200903089702096304
スタンパ及びそれを用いたナノ構造の転写方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-091751
公開番号（公開出願番号）：特開2005-271529
出願日： 2004年03月26日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：
【課題】 より短時間で形成される大面積のスタンパを提供すること。【解決手段】 第1の基板1にナノ構造を形成したスタンパを用い、前記第1の基板1よりも融点またはガラス転移点の低い薄膜3を作成した第2の基板2に前記スタンパを押圧し、前記薄膜3に加熱を行って前記薄膜3を融解または軟化させ、前記薄膜3を冷却した後に前記スタンパを除去し、前記スタンパのナノ構造を前記薄膜3に転写する工程で用いるスタンパにおいて、前記第1の基板1のナノ構造が自己組織化した表面を有することを特徴とするスタンパ。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1の基板にナノ構造を形成したスタンパを用い、
前記第1の基板よりも融点またはガラス転移点の低い薄膜を作成した第2の基板に前記スタンパを押圧し、
前記薄膜に加熱を行って前記薄膜を融解または軟化させ、
前記薄膜を冷却した後に前記スタンパを除去し、
前記スタンパのナノ構造を前記薄膜に転写する工程で用いるスタンパにおいて、
前記第1の基板のナノ構造が自己組織化した表面を有することを特徴とするスタンパ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (29件)：
4F202AA21
, 4F202AF01
, 4F202AH73
, 4F202AJ02
, 4F202AJ06
, 4F202AJ09
, 4F202CA09
, 4F202CD07
, 4F202CD23
, 4F202CD24
, 4F202CD25
, 4F202CK43
, 4F209AD02
, 4F209AD03
, 4F209AD04
, 4F209AD33
, 4F209AD34
, 4F209AF00
, 4F209AF02
, 4F209AG01
, 4F209AG05
, 4F209AG26
, 4F209PA02
, 4F209PA11
, 4F209PB01
, 4F209PC03
, 4F209PG01
, 4F209PN01
, 4F209PQ11
