特許
J-GLOBAL ID：200903089711255539
ウェハ移し替え装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-150374
公開番号（公開出願番号）：特開平5-338729
出願日： 1992年06月10日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：
【要約】【目的】ウェハ移し替え装置において、カセットを固定したり傾けたりせず、簡単な機構とラフな調整のみで最適なウェハ溝位置合わせを行うことにより、ウェハ移し替えミスを無くし信頼性の高い装置を提供すること。【構成】ウェハカセットと、複数枚のウェハを同時にオリフラ合わせするオリフラ機構と、ウェハカセット底部からウェハを押し上げて取り出す、又は収納するウェハ昇降機構と、該ウェハをウェハカセット外で保持するウェハ保持機構と、一対の該ウェハ保持機構をそれぞれ連動させながらウェハ平面にたいして垂直な方向に移動可能で、かつウェハカセットのウェハ挿入溝の位置基準となる部位に噛み合うまたは挟み込む部位を備えたウェハ溝位置合わせ機構を設けた構造で構成される。
請求項（抜粋）：
ウェハカセットと、複数枚のウェハを同時にオリフラ合わせするオリフラ機構と、複数枚のウェハが収納保持されたウェハカセット底部からウェハを押し上げて取り出したりウェハを収納したりするウェハ昇降機構と、該ウェハをウェハカセット外で保持するウェハ保持機構を有するウェハ移し替え装置において、一対の該ウェハ保持機構をそれぞれ連動させながらウェハ平面にたいして垂直な方向に移動可能で、かつウェハカセットのウェハ挿入溝の位置基準となる部位に噛み合うまたは挟み込む部位を備えたウェハ溝位置合わせ機構を設けたことを特徴とするウェハ移し替え装置。
IPC (2件)：
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