特許

J-GLOBAL ID：200903089712957855

溶液の濃度測定方法、濃度測定装置及び洗浄装置

発明者： 岩元 勇人
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 山口 邦夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-100274
公開番号（公開出願番号）：特開平7-306146
出願日： 1994年05月13日
公開日（公表日）： 1995年11月21日
要約：

【要約】【目的】溶液中の特定物質の濃度を確実にしかも簡単に測定する。【構成】溶液槽10から過酸化水素水を含む洗浄液2が混合槽14内に所定量だけ送られると共に、発光試薬槽15からルシゲニン3が混合槽14に所定量だけ送られ、これらが混合される。そうすると、ルシゲニン3が過酸化水素水に反応して発光する。このときの発光光度は過酸化水素水の量によって変化するので、発光光度を光度計19で測定することによって過酸化水素水の濃度がわかる。この測定濃度に応じて定量供給装置21から過酸化水素水が送出され、溶液槽10内に供給される。これによって、洗浄液2が一定濃度に保持されるので、洗浄作用が安定し製品の歩留まりが向上する。

請求項（抜粋）：

溶液に含まれる特定物質の濃度を測定する濃度測定方法において、上記特定物質に反応して化学発光する発光物質と上記溶液とをそれぞれ所定量だけ混合して上記発光物質を発光させ、上記特定物質の発光光度に基づいて上記溶液中の上記特定物質の濃度を測定することを特徴とする溶液の濃度測定方法。