特許

J-GLOBAL ID：200903089713908734

チッソリフロー装置

発明者： 和田 義之
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-173991
公開番号（公開出願番号）：特開平6-021640
出願日： 1992年07月01日
公開日（公表日）： 1994年01月28日
要約：

【要約】【目的】 加熱室で加熱された基板をチッソガスで効果的に冷却できるチッソリフロー装置。【構成】 加熱室1にチッソガスを供給し、還元雰囲気中で半田付けを行った後、冷却室11で基板21を冷却するチッソリフロー装置において、冷却室11から排出されたチッソガスを、チッソガス供給部7から送り出されたチッソガスとエジェクタ30において混合し、冷却室11へ環流させる。【効果】 冷却室11へ供給するチッソガスの風量を多くでき、また保守管理が簡単で騒音もない。

請求項（抜粋）：

加熱室と、この加熱室に配設されたヒータ及びファンと、この加熱室の入口から出口へ電子部品が搭載された基板を搬送するコンベアと、チッソガス供給部と、このチッソガス供給部のチッソガスを上記加熱室へ供給する管路とを備え、主管とこの主管に連通する吸入孔とを有するエジェクタを設け、この吸入孔を前記管路に接続するとともに、前記加熱室から排出されたチッソガスを冷却室に循環させる循環路をこの主管に接続したことを特徴するチッソリフロー装置。