特許
J-GLOBAL ID：200903089720493221
板状体の研削方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-098635
公開番号（公開出願番号）：特開2000-288929
出願日： 1999年04月06日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
要約：
【要約】【課題】ガラス板16を高平坦に研削する。【解決手段】カップ型砥石12の研削面13の基準面に対する傾きを変位計32で検出し、この検出情報に基づいてガラス板16の表面がカップ型砥石12の研削面13と平行になるように、ガラス板吸着テーブル15の傾きをピエゾ素子24によって修正させてガラス板16をカップ型砥石12で研削する。
請求項（抜粋）：
板状体を保持する保持部材と、該保持部材を所望の方向に移動させるテーブルと、前記保持部材に保持された板状体を研削する砥石と、該砥石を回転させるモータとを備え、板状体の表面に砥石を押し付け、該砥石を回転させるとともに板状体を移動させて板状体の表面を研削する板状体の研削方法において、所定の基準面に対する前記砥石の研削面の傾きを検出手段で検出し、該検出手段で検出された検出情報に基づいて、板状体の表面が砥石の研削面と平行になるように、前記保持部材または前記テーブルの所定の基準面に対する傾きを調整して板状体を研削することを特徴とする板状体の研削方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (9件)：
3C034AA08
, 3C034CA30
, 3C034CB08
, 3C034DD20
, 3C043BB06
, 3C043CC04
, 3C043DD02
, 3C043DD04
, 3C043DD06
