特許
J-GLOBAL ID:200903089722101711

検査装置、検査方法、プログラム及び記憶媒体

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  村松 貞男 ,  風間 鉄也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-085502
公開番号(公開出願番号):特開2005-274238
出願日: 2004年03月23日
公開日(公表日): 2005年10月06日
要約:
【課題】色情報のみでは判別が難しいような場合でも、精度良く自動的に特徴を検出できるようにすること。【解決手段】特性の異なる成分が少なくとも2種類以上含まれる対象20の検査を行う検査装置を、上記対象20を複数の波長域で分光撮像し、画像データを取得する撮像部30と、上記撮像部30によって取得した画像データをもとに、上記成分に関する物理量を推定する推定部40と、上記推定部40によって推定された物理量を解析することにより、上記対象20に含まれる特徴成分を検出する検出部50とによって構成する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
特性の異なる成分が少なくとも2種類以上含まれる対象の検査を行う検査装置において、 上記対象を複数の波長域で分光撮像し、画像データを取得する撮像手段と、 上記撮像手段によって取得した画像データをもとに、上記成分に関する物理量を推定する推定手段と、 上記推定手段によって推定された物理量を解析することにより、上記対象に含まれる特徴成分を検出する検出手段と、 を具備することを特徴とする検査装置。
IPC (2件):
G01N21/27 ,  G01N33/48
FI (2件):
G01N21/27 A ,  G01N33/48 P
Fターム (28件):
2G045AA24 ,  2G045BA14 ,  2G045BB24 ,  2G045CA11 ,  2G045CB21 ,  2G045FA11 ,  2G045FA16 ,  2G045GC10 ,  2G045JA01 ,  2G045JA07 ,  2G059AA06 ,  2G059BB13 ,  2G059BB14 ,  2G059CC16 ,  2G059DD01 ,  2G059EE01 ,  2G059EE11 ,  2G059FF01 ,  2G059FF03 ,  2G059FF10 ,  2G059HH02 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK04 ,  2G059MM05 ,  2G059PP01 ,  2G059PP04
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

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