電子あるいはイオンビームを用いた円描画装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋友二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-095950
公開番号（公開出願番号）：特開平8-273583
出願日： 1995年03月30日
公開日（公表日）： 1996年10月18日
要約：

【要約】【目的】入力する走査クロックのクロック周期を調整して円描画の角速度を調整する従来の円描画装置では、高速描画における角速度の微調整が容易でない。この問題を解決する。【構成】角度電圧発生器をウインドリミット可変型アップダウン・カウンタと、D/Aコンバータと、可変増幅器とで構成し、ウインドリミットを可変して異なる走査クロック数で角度電圧の三角波を生成し、可変増幅器で予め定められた大きさの角度電圧まで増幅して出力する。

請求項（抜粋）：

走査クロックを角度電圧発生器に入力し、角度電圧発生器の出力である角度電圧をsin波発生器に入力してsin波を得、同じく走査クロックを角度電圧発生器に入力し、角度電圧発生器の出力である角度電圧をcos波発生器に入力してcos波を得る回路構成からなり、電子あるいはイオンビームを用いた描画装置に使用され、ビームの照射位置を設定するX座標系およびY座標系に所望の大きさのsin波とcos波とを出力してビームを走査して所望の大きさの円を描画させる電子あるいはイオンビームを用いた円描画装置において、上記それぞれの角度電圧発生器を、ウインドリミット可変型アップダウン・カウンタと、D/Aコンバータと、可変増幅器と、上記ウインドリミット可変型アップダウン・カウンタのウインドリミットと上記可変増幅器の増幅率とを同期して制御する制御回路とで構成し、上記ウインドリミットを可変して異なる走査クロック数で角度電圧の三角波を生成する場合、上記可変増幅器で予め定められた大きさの角度電圧まで増幅して上記sin波発生器およびcos波発生器に入力し、入力する走査クロックのクロック周期を可変することなく円描画における角速度の調整を行う手段を備えたことを特徴とする電子あるいはイオンビームを用いた円描画装置。

IPC (6件)：

H01J 37/305 , G03F 7/20 504 , G03F 7/20 506 , G21K 5/04 , H01J 37/147 , H01L 21/027

FI (7件)：

H01J 37/305 A , G03F 7/20 504 , G03F 7/20 506 , G21K 5/04 M , H01J 37/147 C , H01L 21/30 541 B , H01L 21/30 551

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