特許
J-GLOBAL ID：200903089736840312
マイクロ波誘導プラズマイオン源
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森下 靖侑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-325267
公開番号（公開出願番号）：特開平9-147790
出願日： 1995年11月21日
公開日（公表日）： 1997年06月06日
要約：
【要約】【課題】 ヘリウムガスをもプラズマ化することができ、そのプラズマによってあらゆる試料をイオン化し、微量分析に用いることのできるマイクロ波誘導イオン源を得る。【解決手段】 マイクロ波誘導プラズマイオン源1は、扁平導波管2の一端に内導体3と外導体4とからなる円形同軸導波管5を取り付けたものである。外導体4の先端には、内導体3の先端との間にギャップdを置いて対向するフロントプレート6が取り付けられている。円形同軸導波管5の中心部には、二重管構造の放電管8が配置されている。その内管10と外管11との間には、外管11内を流れるヘリウムガスを周方向に旋回させる螺旋通路16が設けられている。試料は、その放電管8の内管10に供給されるようになっている。扁平導波管5にマイクロ波電力を供給すると、ギャップ部12において放電管8内にドーナツ状のヘリウムプラズマ17が形成され、そのプラズマ17によって試料がイオン化される。
請求項（抜粋）：
内部に円筒状の空洞を有し、極薄型扁平導波管の電界方向の一面の内側に設けられる内導体と、前記扁平導波管の反対面の外側に設けられ、前記内導体の先端との間にギャップを置いて配置されるフロントプレートを有する円筒状の外導体と、前記内導体の内部から前記ギャップ部を経て前記フロントプレートを貫通し、外部に突出する二重管からなる放電管と、を備え、前記扁平導波管の一端にマイクロ波電力を供給するとともに、前記放電管の外管にプラズマ化するガスを、その内管に試料をそれぞれ導入することにより、その試料を励起するようにしたマイクロ波誘導プラズマイオン源において;前記放電管の外管に、その外管内を流れるガスを周方向に旋回させる螺旋通路が設けられていることを特徴とする、マイクロ波誘導プラズマイオン源。
IPC (4件)：
H01J 49/10
, G01N 21/73
, G01N 27/62
, H01J 27/16
H01J 49/10
, G01N 21/73
, G01N 27/62 G
, H01J 27/16
