特許
J-GLOBAL ID：200903089740432377
圧力センサおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-084748
公開番号（公開出願番号）：特開2001-324402
出願日： 2000年03月22日
公開日（公表日）： 2001年11月22日
要約：
【要約】【課題】 ダイヤフラムを有する金属ステムを圧力導入用の通路を有するハウジングに固定した圧力センサにおいて、被取付体にハウジングを直接取り付けたときの被取付体の変形を防止する。【解決手段】 金属ステム10の外周には、外周面に雄ネジ部21が形成された筒状のネジ部材20が設けられ、雄ネジ部21とハウジング30の対応する部位に形成された雌ネジ部33とはネジ結合される。このネジ結合の押圧力は金属ステム10の段付部13に印加されて、金属ステム10はハウジング30に押圧固定され、金属ステム10の開口部12側部分とハウジング30の圧力導入通路32側部分との境界部Kはシールされる。
請求項（抜粋）：
一端側に変形可能なダイヤフラム(11)を有し、他端側に開口部(12)を有する中空筒状の金属ステム(10)と、前記ダイヤフラムの変形に基づく信号を検出する検出部(40)と、前記金属ステムの前記開口部と連通し前記金属ステム内へ圧力媒体を導入するめの圧力導入通路(32)を有し、被取付体に取り付けられるハウジング(30)とを備え、前記金属ステム内部へ前記圧力媒体が導入されたときの前記ダイヤフラムの変形に基づく前記検出部からの信号によって圧力検出を行うようにした圧力センサであって、前記金属ステムの前記開口部側と前記ハウジングの前記圧力導入通路側との境界部(K)をシールするように、前記金属ステムを前記ハウジングに押圧する押圧手段(21、33、110)を備えていることを特徴とする圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 19/14
, G01L 9/04 101
, H01L 29/84
G01L 19/14
, G01L 9/04 101
, H01L 29/84 B
2F055AA40
, 2F055BB16
, 2F055CC02
, 2F055DD01
, 2F055EE13
, 2F055FF07
, 2F055FF43
, 2F055GG01
, 2F055GG12
, 2F055GG25
, 4M112AA01
, 4M112BA01
, 4M112CA15
, 4M112DA18
, 4M112DA20
, 4M112EA03
, 4M112GA01
