特許
J-GLOBAL ID:200903089754126457
エミッタ及びその作製方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
工業技術院電子技術総合研究所長
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-090895
公開番号(公開出願番号):特開2000-156148
出願日: 1999年03月31日
公開日(公表日): 2000年06月06日
要約:
【要約】【課題】 従来の微細加工をせず、簡単な工程により先鋭化した先端部を作製する。【解決手段】 黒鉛、炭素棒、炭素フイルム又は炭素繊維を、これらの所定方向に配列した炭素六角網面層の垂直断面を電子放出面とするように、所定形状にカットし原子尺度で平坦化し、導電性物質で被覆された絶縁基板上にカーボン接着剤で固定し、カソード電極とするエミッタ。
請求項(抜粋):
黒鉛ブロック、炭素棒、炭素フイルム又は炭素繊維の炭素六角網面の層方向に対して垂直にカットした端面を電子放出面とすることを特徴とするエミッタ。
IPC (6件):
H01J 1/304
, H01J 1/30
, H01J 9/02
, C01B 31/02 101
, C01B 31/04 101
, C04B 35/52
FI (6件):
H01J 1/30 F
, H01J 1/30 A
, H01J 9/02 B
, C01B 31/02 101 Z
, C01B 31/04 101 Z
, C04B 35/54 A
Fターム (21件):
4G032AA04
, 4G032AA52
, 4G032BA04
, 4G032GA08
, 4G046CA02
, 4G046CA06
, 4G046CA07
, 4G046CB01
, 4G046CB03
, 4G046CB08
, 4G046CC00
, 4G046EA01
, 4G046EA02
, 4G046EB13
, 4G046EC01
, 4G046EC03
, 4G046EC05
, 5C035AA20
, 5C035BB01
, 5C035BB04
, 5C035BB08
引用特許: