特許
J-GLOBAL ID：200903089775343512
容量形加速度センサおよびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-011418
公開番号（公開出願番号）：特開平7-218534
出願日： 1994年02月03日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】重りの自重による検出精度の低下を防止する。【構成】四角形の板からなる絶縁性の重り5と、この重り5の各側面にそれぞれ間隔を隔てて設けられた絶縁性の固定枠6と、これら重り5の対向する一方の両側面と、これら両側面にそれぞれ対向する固定枠の各内側面との間に設けられた各梁7A,7Bと、重り5の対向する他方向の両側にそれぞれ設けられた各可動電極51,52と、これら各可動電極に対向して固定枠6の内側面にそれぞれ設けられた各固定電極61,62とから構成する。
請求項（抜粋）：
四角形の板からなる絶縁性の重りと、この重りの各側面にそれぞれ間隔を隔てて設けられた絶縁性の固定枠と、この重りの対向する一方の両側面とこれら両側面にそれぞれ対向する固定枠の各内側面との間に設けられた各梁と、重りの対向する他方の両側面にそれぞれ設けられた各可動電極と、これら各可動電極に対向して固定枠の内側面にそれぞれ設けられた各固定電極とからなることを特徴とする容量形加速度センサ。
IPC (2件)：
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