特許
J-GLOBAL ID：200903089775360794
測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高梨 幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-289572
公開番号（公開出願番号）：特開平5-272921
出願日： 1992年10月02日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：
【要約】【目的】 回折格子を利用して移動体の移動情報を高精度に検出することができる測定装置を得ること。【構成】 同じ周波数のビート信号を発生する様に組み合わされた第1,第2の異周波数の光束対を形成し、第1及び第2の光束対のうち一方の光束対の周波数の小さい方の光束と他方の光束対の周波数の大きい方の光束とを回折手段によって第1の次数で回折させ、かつ一方の光束対の周波数の大きい方の光束と他方の光束対の周波数の小さい方の光束とを回折手段によって、第2の次数で回折させる様に各光束を回折手段に照射し、回折を受けた第1の光束対を干渉させて得られる第1のビート信号と、回折を受けた第2の光束対を干渉させて得られる第2のビート信号とを比較することにより回折手段の相対的な変位情報を得ること。
請求項（抜粋）：
同じ周波数のビート信号を発生する様に組み合わされた第一の異周波数の光束対と第二の異周波数の光束対を形成するための光束形成手段と、前記第一及び第二の光束対のうちの一方の光束対のうち周波数の小さい方の光束と他方の光束対のうち周波数の大きい方の光束とを回折手段によって第一の次数で回折させ、かつ前記一方の光束対のうちの周波数の大きい方の光束と前記他方の光束対のうちの周波数の小さい方の光束とを前記回折手段によって、前記第一の次数とは符号が異なる第二の次数で回折させる様に前記各光束を前記回折手段に照射する照射手段と、該回折を受けた前記第一の光束対を干渉させて得られる第一のビート信号と、該回折を受けた前記第二の光束対を干渉させて得られる第二のビート信号とを比較することにより前記回折手段の相対的な変位情報を得る変位情報検出手段とを有することを特徴とする測定装置。
IPC (2件)：
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