特許

J-GLOBAL ID：200903089781636238

静圧軸受装置

発明者： 千葉 伸一 ,  小山内 英司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-159224
公開番号（公開出願番号）：特開平5-010330
出願日： 1991年06月29日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】 移動体を高剛性で支持し、静的な姿勢とともに動的な姿勢も安定化された静圧軸受装置を実現すること。【構成】 多孔質部材102とガイド部材106との間の軸受部Bに加圧流体を供給することにより前記多孔質部材102と連結された移動体101をガイド部材106と非接触に支持して移動させる静圧軸受装置において、前記多孔質部材102には、少なくとも1つ以上の給気孔107が設けられ、ガイド部材側の面の給気孔107の周囲には加圧流体を排気するための排気溝104が設けられている。

請求項（抜粋）：

多孔質部材とガイド部材との間の軸受部に加圧流体を供給することにより前記多孔質部材と連結された移動体をガイド部材と非接触に支持して移動させる静圧軸受装置において、前記多孔質部材には、少なくとも1つ以上の給気孔が設けられ、ガイド部材側の面の給気孔の周囲には加圧流体を排気するための排気溝が設けられていることを特徴とする静圧軸受装置。