特許
J-GLOBAL ID：200903089786160592
基板支持具およびこれを用いた基板の異物除去方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-182861
公開番号（公開出願番号）：特開平8-031915
出願日： 1994年07月11日
公開日（公表日）： 1996年02月02日
要約：
【要約】【目的】 粘着テープを用いて基板の異物を除去する際に使用するハンドリング用の基板支持具を構成するとともに、基板支持具の表裏から貼付けられた粘着テープ同志の接着が生じることがなく、しかも、基板の周縁まで確実に粘着テープを貼付けることができるものにする。【構成】 基板Wの外形より僅かに大きい形状の基板収納孔2を有するとともに、基板厚さと同等、あるいは、僅かに薄い硬質の板材で基板支持具1を構成し、かつ、一端が前記基板収納孔2に連通するとともに、他端が行き止まり状となった溝4を基板支持具1に形成する。
請求項（抜粋）：
基板厚さと同等以下の薄い板材に基板の外形より僅かに大きい形状の基板収納孔を形成してあることを特徴とする基板支持具。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B65G 49/07
, H01L 21/304 341
