特許

J-GLOBAL ID：200903089788234232

誘電体キャパシタを備えた固体電子装置

発明者： 池田 和人
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 眞鍋 潔 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-165711
公開番号（公開出願番号）：特開2001-345432
出願日： 2000年06月02日
公開日（公表日）： 2001年12月14日
要約：

【要約】【課題】 誘電体キャパシタを備えた固体電子装置に関し、集積度の向上を阻害することなく、キャパシタの電極の耐酸化性を高める。【解決手段】 絶縁層1中に埋め込まれた埋込導電体2の表面に、埋込導電体2を構成する金属の窒化物層3を設けるとともに、窒化物層3上にIrO2 或いはRuO2 等の導電性酸化物からなり対酸素バリア性を有する中間層4を介して誘電体キャパシタ5を設ける。

請求項（抜粋）：

絶縁層中に埋め込まれた埋込導電体に接続した誘電体キャパシタを備えた固体電子装置において、前記埋込導電体の表面に、前記埋込導電体を構成する金属の窒化物層を設けるとともに、前記窒化物層上に導電性酸化物からなり対酸素バリア性を有する中間層を介して誘電体キャパシタを設けたことを特徴とする誘電体キャパシタを備えた固体電子装置。

IPC (3件)：

H01L 27/10 451 ,  H01L 27/108 ,  H01L 21/8242

FI (2件)：

H01L 27/10 451 ,  H01L 27/10 651

Fターム (17件)：

5F083FR02 ,  5F083GA09 ,  5F083GA21 ,  5F083JA05 ,  5F083JA06 ,  5F083JA14 ,  5F083JA15 ,  5F083JA17 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA43 ,  5F083MA06 ,  5F083MA17 ,  5F083PR22 ,  5F083PR33 ,  5F083PR40