特許
J-GLOBAL ID:200903089788947999

高速移動面の表面検査方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高矢 諭 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-078404
公開番号(公開出願番号):特開2001-264258
出願日: 2000年03月21日
公開日(公表日): 2001年09月26日
要約:
【要約】【課題】 従来の連続発振型レーザ光源では困難であった、高速移動面の表面検査を可能とする。【解決手段】 パルス発振型レーザ光源20により発振された、瞬時発振エネルギの大きなレーザ光を鋼帯10や圧延ロール12の表面に照射して、高速移動面の表面を検査する。
請求項(抜粋):
検査対象表面に照射したレーザ光の、該表面からの反射光や散乱光を観測して表面を検査する高速移動面の表面検査方法において、パルス発振型のレーザにより発振された、瞬時発振エネルギの大きなレーザ光を表面に照射することを特徴とする高速移動面の表面検査方法。
IPC (2件):
G01N 21/892 ,  G01B 11/30
FI (2件):
G01N 21/892 B ,  G01B 11/30 A
Fターム (26件):
2F065AA49 ,  2F065AA56 ,  2F065BB02 ,  2F065BB15 ,  2F065BB29 ,  2F065CC06 ,  2F065DD06 ,  2F065FF42 ,  2F065GG04 ,  2F065HH02 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ00 ,  2F065JJ08 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ28 ,  2F065SS06 ,  2F065SS09 ,  2F065SS13 ,  2G051AA37 ,  2G051AB02 ,  2G051BA10 ,  2G051BC01 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051DA06

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