特許
J-GLOBAL ID：200903089790183394

成膜装置、及び成膜方法

発明者：
根岸 敏夫

根岸 敏夫 について

, 
菊地 博

菊地 博 について


出願人/特許権者：
株式会社アルバック

株式会社アルバック について


代理人 (2件)： 石島 茂男 ,  阿部 英樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-291037
公開番号（公開出願番号）：特開2005-060757
出願日： 2003年08月11日
公開日（公表日）： 2005年03月10日
要約：
【課題】放出口に有機蒸着材料が析出し難い成膜装置を提供する。 【解決手段】本発明の成膜装置1は熱媒体ガス導入系18を有しており、収容孔32内部に残った有機蒸着材料19を冷却するときには、真空槽12内部に熱媒体ガスを導入し、真空槽12内部の圧力を成膜のときよりも高くすれば、その内部空間の熱伝導率が高くなる。従って、真空槽12の内部圧力を高くすることで、温度が高い部分から低い部分へ熱を伝え、第一、第二の放出口38、39付近の温度を蒸気発生温度を、有機蒸着材料19の蒸気の発生が停止する前に、蒸気発生温度よりも低くならないようにすれば、第一、第二の放出口38、39の内壁に有機蒸着材料が析出することがない。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
真空槽と、前記真空槽内部に配置された蒸着源とを有し、 前記蒸着源は、蒸着容器と、加熱手段と、冷却手段とを有し、 前記蒸着容器は熱伝導性の容器本体と、前記容器本体に設けられた収容孔と、前記収容孔の開口を覆う蓋部材と、前記蓋部材を貫通する第一の放出口とを有し、 前記加熱手段は前記容器本体の周囲に配置され、前記収容孔に有機蒸着材料を収容した状態で前記加熱手段を動作させると、前記有機蒸着材料が昇温して蒸気が発生し、前記蒸気が前記第一の放出口を通って前記蒸着容器の外部に放出されるように構成され、 前記冷却手段は前記容器本体の一面に配置され、前記容器本体を冷却するように構成された成膜装置であって、 前記真空槽に接続された熱媒体ガス導入系を有し、前記熱媒体ガス導入系から前記真空槽内部に熱媒体ガスが導入されると、前記熱媒体ガスが前記第一の放出口を通って前記収容孔内部に導入されるように構成された成膜装置。
IPC (4件)：
C23C14/00 ,  C23C14/24 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14
FI (5件)：
C23C14/00 B ,  C23C14/24 L ,  C23C14/24 M ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (13件)：
3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  3K007FA03 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029CA01 ,  4K029DA09 ,  4K029DB06 ,  4K029DB11 ,  4K029DB18 ,  4K029EA03
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (4件)
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