特許
J-GLOBAL ID：200903089811215453
化学機械平坦化の終点検知のための光学ビューポート
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-503030
公開番号（公開出願番号）：特表2003-501845
出願日： 2000年06月10日
公開日（公表日）： 2003年01月14日
要約：
【要約】【課題】【解決手段】 CMPシステムのための光学終点システムは、プラテンの中心からずれた位置に設けられたビューポートを備える。ビューポートの高さは調整可能であるため、ビューポートの窓は、研磨パッドの上面と同一平面上に配置可能である。
請求項（抜粋）：
加工物の表面を平坦化するためのシステムであって、 前記システムは、 回転プラテンを前記プラテンの表面上に配置された研磨パッドとともに収納する処理チャンバと、 前記研磨パッドの上方で前記加工物を保持するための研磨ヘッドと、 前記プラテンをその中心を軸にして回転させるプラテン駆動スピンドルと、を含む平坦化デバイスを備え、 前記デバイスは、さらに、 前記プラテンの中心から半径方向にずれた位置に設けられ、前記プラテン内に底面を有する凹部と、 前記研磨パッドに設けられ、前記プラテンの前記凹部の上に位置する開口と、 前記プラテンの前記凹部内に収納され、サポート部材と窓ケーシングと窓板と光ファイバアレイとを備える光学ビューポートアセンブリであって、前記サポート部材は、前記凹部の前記底面上に置かれて前記光ファイバアレイを支持し、前記窓ケーシングは、前記光ファイバアレイの上方に配置され、前記ファイバアレイの上方に開口を有し、前記窓ケーシングは、前記プラテンに対して前記窓ケーシングを上下させる調整が可能な少なくとも1つの調整ネジと、前記窓ケーシングを前記プラテンに対して固定するための少なくとも1つの留め具と、を用いて前記プラテンに対して支持される、前記光学ビューポートアセンブリと、 前記光ファイバアレイから、半径方向に沿うように前記プラテンの前記中心に向かい、さらに前記プラテン駆動スプールを通って光結合器まで通じる光ファイババンドルと、を備えるシステム。
IPC (4件)：
H01L 21/304 622
, B24B 37/04
, B24B 49/04
, B24B 49/12
H01L 21/304 622 S
, B24B 37/04 K
, B24B 49/04 Z
, B24B 49/12
3C034AA08
, 3C034AA13
, 3C034BB93
, 3C034CA02
, 3C034CB14
, 3C058AC02
, 3C058BA07
, 3C058DA17
