特許
J-GLOBAL ID：200903089826861904
浮上支持装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-223173
公開番号（公開出願番号）：特開平7-077241
出願日： 1993年09月08日
公開日（公表日）： 1995年03月20日
要約：
【要約】【目的】この発明は、簡便にして、安定した高精度な指向制御を実現すると共に、設計を含む取扱いの簡略化を図り得るようにすることにある。【構成】被走査体20の2位置における変位量を第1及び第2の変位センサ22a,22bで検出して、該被走査体20の重心の位置及び重心回りの回転角度を算出し、この重心の位置及び重心回りの回転角度に基づいて被走査体20に作用する力及びトルクを求めて、この力及びトルクに基づいた駆動指令を生成して第1及び第2の磁気軸受21a,21bを駆動制御して被走査体20を浮上支持するように構成し、所期の目的を達成したものである。
請求項（抜粋）：
浮上体の複数箇所を浮上支持する浮上手段と、この浮上手段に支持された前記浮上体の複数箇所の変位を検出する変位検出手段と、この変位検出手段で検出した前記浮上体の複数箇所の各変位量に基づいて前記浮上体の重心の位置及び重心回りの回転角度を算出する処理手段と、この処理手段で求めた前記重心の位置及び重心回りの回転角度に基づいて前記浮上体に作用する力及びトルクを算出して、この力及びトルクに基づいた駆動指令を生成して前記浮上手段を駆動制御する駆動制御手段とを具備した浮上支持装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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