圧電素子を用いたイオン検出センサ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-234819
公開番号（公開出願番号）：特開2000-039421
出願日： 1998年07月17日
公開日（公表日）： 2000年02月08日
要約：

【要約】【課題】気体中の陰イオン、陽イオンを簡単にとらえる技術を提起するものである。【解決手段】圧電エレクトレットが分極面を持っていることを利用して陰イオン、陽イオンをその面上に吸着させイオン電流として個別に検出した。

請求項（抜粋）：

表面が分極したエレクトレット圧電素子を用い、気体中に含まれる陰イオン、陽イオンを素子表面に吸着させ、両イオン又はそのいずれかのイオン量を電流として検出するイオンセンサと検出法。

IPC (3件)：

G01N 27/60 , G01N 27/49 , G01N 27/416

FI (3件)：

G01N 27/60 D , G01N 27/46 306 , G01N 27/46 346

前のページに戻る