特許
J-GLOBAL ID：200903089830805172
梁およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
深見 久郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-009467
公開番号（公開出願番号）：特開平6-224449
出願日： 1993年01月22日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：
【要約】【目的】 途中工程のフォトリソグラフィ工程に支障をきたさず、機械的に反り量を与える必要がなく、かつ大量生産可能な制御された反り量を有するカンチレバーを得る。【構成】 マイクロマシンに用いられ、かつ一方端部が微小変位可能で他方端部が固定されたカンチレバーにおいて、少なくとも一方端部がシリコン基板1と、そのシリコン基板1の上に形成されたニッケル-鉄メッキ膜3とを有している。
請求項（抜粋）：
微小な機械的動作を行なう装置に用いられ、かつ一方端部が微小変位可能で他方端部が固定された梁において、少なくとも前記一方端部が基板と、その基板の上に形成されたニッケルと鉄とを主成分とするメッキ層とを含むことを特徴とする、梁。
IPC (4件)：
H01L 29/84
, C25D 7/00
, G01P 15/00
, C25D 3/56
