特許
J-GLOBAL ID：200903089831502262
ウェーハ接着装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉武 賢次 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-117182
公開番号（公開出願番号）：特開2002-313688
出願日： 2001年04月16日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
要約：
【要約】【課題】 接着界面にボイドが発生するのを可及的に防止することを可能にするとともに、真空中でも使用することを可能にする。【解決手段】 第1のウェーハ2aが載置されるステージ11と、水平方向に移動可能でかつ所定の間隔をもって第1のウェーハに対向するように第2のウェーハ2bを支持するスペーサ部13と、ステージ上に設けられ第1および第2のウェーハを位置決めするとともに第1および第2のウェーハが水平方向に動かないように固定するガイド部11aと、先端部が滑らかな凸形状を有しており、先端部が第2のウェーハのほぼ中心に接触した後、第2のウェーハを押圧する力を受けると第2のウェーハの中心から外周に向かって第2のウェーハを第1のウェーハに接着させる接着機構15と、押圧する力を発生する押圧力発生部と、を備えている。
請求項（抜粋）：
第1のウェーハが載置されるステージと、水平方向に移動可能でかつ所定の間隔をもって前記第1のウェーハに対向するように第2のウェーハを支持するスペーサ部と、前記ステージ上に設けられ前記第1および第2のウェーハを位置決めするとともに前記第1および第2のウェーハが水平方向に動かないように固定するガイド部と、先端部が滑らかな凸形状を有しており、前記先端部が前記第2のウェーハのほぼ中心に接触した後、前記第2のウェーハを押圧する力を受けると前記第2のウェーハの中心から外周に向かって前記第2のウェーハを前記第1のウェーハに接着させる接着機構と、前記押圧する力を発生する押圧力発生部と、を備えたことを特徴とするウェーハ接着装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/02 B
, H01L 21/68 N
5F031CA02
, 5F031HA12
, 5F031HA24
, 5F031HA42
, 5F031JA01
, 5F031JA45
, 5F031KA03
, 5F031KA11
, 5F031MA21
