特許
J-GLOBAL ID：200903089831633219
カラー固体撮像装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-336542
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164914
出願日： 1991年12月19日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 顕微分光測定器を用いた反射測光によりカラーフィルタのみの分光特性を簡易的に評価可能とする。【構成】 カラー固体撮像装置11の有効画素領域13の外にも同時にカラーフィルタを形成し、カラーフィルタのみの分光特性を測定できる分光モニター部12を少なくとも一箇所以上備え、分光モニター部12がアルミニウム表面またはアルミニウム段差表面上に形成された構成で、さらに、分光モニター部12が画素部と同じ配列の構成で少なくとも一箇所以上備えることにより、カラー固体撮像装置のカラーフィルタの分光特性を定量的に評価でき品質管理や工程管理が簡単になるだけでなく、固体撮像装置が高画素化しても影響を受けずに評価できる。
請求項（抜粋）：
固体撮像装置の表面に塗布されたレジストを露光および現像によりパターニングし、カラー固体撮像装置の有効画素領域外に同時に1つ以上のカラーフィルタを設けたカラー固体撮像装置。
IPC (3件)：
G02B 5/20 101
, H01L 27/14
, H04N 5/335
