特許
J-GLOBAL ID:200903089840381494

パルス電子ビーム伝搬装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中沢 謹之助
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-278807
公開番号(公開出願番号):特開平7-105890
出願日: 1993年09月30日
公開日(公表日): 1995年04月21日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】 パルス電子ビームを、真空中のビーム伝搬領域中に長距離にわたって伝搬させるためのビームガイドを備えた場合でも、ビーム電流量の減少の回避および、伝搬領域中での電子ビームの分布の均一化を図る。【構成】 パルス電子ビーム6の伝搬領域の周囲を囲むように、絶縁物からなるビームガイド10を設ける。パルス電子ビームは、その伝搬領域中においてビームガイドに衝突し、プラズマを発生する。伝搬領域はビームガイドにより囲まれているので、電子ビームは、ビームガイドになんら邪魔されることなく、伝搬領域中を伝搬していく。そのためビーム電流量が減少することはないし、また伝搬領域中の電子ビームも均一化される。
請求項(抜粋):
真空中のパルス電子ビームの伝搬領域に、前記パルス電子ビームの衝突により前記パルス電子ビームを伝搬するプラズマを発生する絶縁物よりなるビームガイドを、前記伝搬領域の周囲を囲むように配置してなるパルス電子ビーム伝搬装置。
IPC (2件):
H01J 37/06 ,  H01J 27/20

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