特許
J-GLOBAL ID：200903089843113164
誘電体バリア放電装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-291288
公開番号（公開出願番号）：特開平10-123298
出願日： 1996年10月15日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 誘電体バリア放電ランプがその材料自身や加工上のバラツキを有する場合であっても、光照射エネルギーの均一化ができる誘電体バリア放電装置を提供することにある。【解決手段】誘電体バリア放電によってエキシマ分子を生成する放電用ガスが充填された放電空間(G,G1,G2・・)があって、この放電用ガスに放電現象を誘起させる電極(Ea,Ea1,Ea2・・)(Eb,Eb1,Eb2・・)のうち少なくとも一方と放電用ガスの間に誘電体(D,D1,D2・・)が介在する構造を有する誘電体バリア放電ランプ(B,B1,B2・・)と、前記電極(Ea,Ea1,Ea2・・)(Eb,Eb1,Eb2・・)に交流の高電圧を印加するための給電装置(S)とを有して、この給電装置(S)は、誘電体バリア放電ランプ(B,B1,B2・・)に発光のための放電を生じせしめている期間(Ta)と、実質的に発光のための放電を生じせしめていない期間(Tb)とを交互に繰り返すように交流の高電圧を印加することを特徴とする誘電体バリア放電装置。
請求項（抜粋）：
誘電体バリア放電によってエキシマ分子を生成する放電用ガスが充填された放電空間(G,G1,G2,....)があって、前記放電用ガスに放電現象を誘起せしめるための両極の電極(Ea,Ea1,Ea2,....)(Eb,Eb1,Eb2,....)のうちの少なくとも一方と前記放電用ガスの間に誘電体(D,D1,D2,....)が介在する構造を有する誘電体バリア放電ランプ(B,B1,B2,....)と、前記誘電体バリア放電ランプの前記電極(Ea,Ea1,Ea2,....)(Eb,Eb1,Eb2,....)に交流の高電圧を印加するための給電装置(P)とを有する誘電体バリア放電装置において、前記誘電体バリア放電ランプ(B,B1,B2,....)の発光量を検出する第1のランプ発光量測定手段(F1)と第2のランプ発光量測定手段(F2)とを有し、前記給電装置(P)が、前記第1のランプ発光量測定手段(F1)からの第1のランプ発光量測定信号(f1)とランプ発光量の目標値を示すランプ発光量目標値信号(g1)との誤差が小さくなるように前記誘電体バリア放電ランプ(B,B1,B2,....)への投入電力をフィードバック制御するもので、前記第1のランプ発光量測定信号(f1)を、前記第2のランプ発光量測定手段(F2)からの第2のランプ発光量測定信号(f2)によって更正する手段と、前記誘電体バリア放電ランプ(B,B1,B2,....)よりの放射光が前記第2のランプ発光量測定手段に届くことを概略阻止する手段(S)を有することを特徴とする誘電体バリア放電装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G21K 5/00 Z
, H01J 65/04 A
