特許

J-GLOBAL ID：200903089844104746

Co系ターゲットおよびその製造方法

発明者： 上野 友典 ,  村田 英夫 ,  平木 明敏 ,  谷口 繁
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-281975
公開番号（公開出願番号）：特開2001-107226
出願日： 1999年10月01日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：

【要約】【課題】 均一組織が得られる粉末焼結材の欠点である酸素量の増大を抑制した新規なCo系ターゲット及びその製造方法を提供することである。【解決手段】 本発明の新規なターゲットは、粉末焼結ターゲットであって、Bを10at%以下含有し酸素量が100ppm以下であるCo系ターゲットであり、30≧Pt≧5at%、30≧Cr≧10at%、5≧Ta>0at%、30≧Ni>0at%、5≧(Ti+Zr+Hf+V+Nb+Mo+W+Cu+Ag+Au)>0at%を含有させることができる。上述した本発明のターゲットは、Co系を主体とする合金にBを添加して溶解することにより脱酸素処理した後、得られた合金を急冷凝固処理して粉末とし、次いで該粉末を焼結して粉末焼結ターゲットとすることにより得ることができる。

請求項（抜粋）：

粉末焼結ターゲットであって、Bを10at%以下含有し酸素量が100ppm以下であることを特徴とするCo系ターゲット。

IPC (5件)：

C23C 14/34 ,  C22C 1/04 ,  C22C 19/07 ,  H01F 41/18 ,  G11B 5/64

FI (5件)：

C23C 14/34 A ,  C22C 1/04 G ,  C22C 19/07 D ,  H01F 41/18 ,  G11B 5/64

Fターム (19件)：

4K018AA10 ,  4K018BA01 ,  4K018BA04 ,  4K018EA13 ,  4K018KA29 ,  4K029AA04 ,  4K029AA24 ,  4K029BA24 ,  4K029BC06 ,  4K029BD11 ,  4K029CA05 ,  4K029DC04 ,  4K029DC09 ,  5D006BB01 ,  5D006EA03 ,  5E049AA04 ,  5E049AA09 ,  5E049BA06 ,  5E049GC02