特許

J-GLOBAL ID：200903089850060459

カーボンナノチューブアレイの製造方法

発明者： 張 ▲ギョウ▼波 ,  姜 開利 ,  ▲ハン▼ 守善
出願人/特許権者： 鴻富錦精密工業(深▲セン▼)有限公司 ,  ツィンファ ユニバーシティ
代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  村山 靖彦 ,  実広 信哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-333727
公開番号（公開出願番号）：特開2007-161576
出願日： 2006年12月11日
公開日（公表日）： 2007年06月28日
要約：

【課題】本発明は、良好に配列するカーボンナノチューブアレイの成長方法を提供できる。【解決手段】本発明に係るカーボンナノチューブアレイの成長方法は、基材を準備する段階と、該基材に触媒を形成する段階と、反応ガスを導入して、所定の温度で前記基材にカーボンナノチューブアレイを成長させる段階と、を含む。前記触媒は0.5nm/sの速度で前記基材に形成される。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基材を準備する段階と、 該基材に触媒を形成する段階と、 反応ガスを導入して、所定の温度で前記基材にカーボンナノチューブアレイを成長させる段階と、 を含むカーボンナノチューブアレイの成長方法において、 前記触媒は0.5nm/sの速度で前記基材に形成することを特徴とするカーボンナノチューブアレイの成長方法。

IPC (3件)：

C01B 31/02 ,  B82B 3/00 ,  D01F 9/127

FI (3件)：

C01B31/02 101F ,  B82B3/00 ,  D01F9/127

Fターム (12件)：

4G146AA11 ,  4G146AA16 ,  4G146AB06 ,  4G146BA12 ,  4G146BA48 ,  4G146BB23 ,  4G146BC09 ,  4L037CS03 ,  4L037FA02 ,  4L037PA03 ,  4L037PA06 ,  4L037PA12