特許

J-GLOBAL ID：200903089866457464

X線分析装置

発明者： 宇高 忠
出願人/特許権者： 理学電機工業株式会社
代理人 (1件)： 杉本 修司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-116473
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285798
出願日： 1995年04月17日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】測定系に対する試料の方位を固定したまま、試料の任意の微小箇所を正確に分析できるX線分析装置を提供する。【構成】試料2 からの2次X線22の通路での試料2 と検出器7 との間に、孔径の異なる複数の絞り孔25a, 25bを有するコリメータ装置23と、軸方向に延びる多数の細長い筒状の通路を束ねたキャピラリー型ソーラスリット28a, 28bとが配置され、前記2次X線22を通過させる絞り孔25a を選択する選択機構26と、前記コリメータ装置23を前記キャピラリー型ソーラスリット28a, 28bの通路の軸方向に垂直な平面上で移動させる移動機構27とを備えたX線分析装置。

請求項（抜粋）：

1次X線を発生するX線源と、1次X線が照射された試料から発生する2次X線が入射される検出器とを備えたX線分析装置において、前記2次X線の通路における前記試料と前記検出器との間に、孔径の異なる複数の絞り孔を有するコリメータ装置と、軸方向に延びる多数の細長い筒状の通路を束ねたキャピラリー型ソーラスリットとが配置され、前記試料から発生する2次X線を通過させる絞り孔を選択する選択機構と、前記コリメータ装置を前記キャピラリー型ソーラスリットの通路の軸方向に垂直な平面上で移動させる移動機構とを備えたことを特徴とするX線分析装置。