特許
J-GLOBAL ID：200903089879959078
プローブカード
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-100467
公開番号（公開出願番号）：特開平5-273237
出願日： 1992年03月26日
公開日（公表日）： 1993年10月22日
要約：
【要約】【目的】 半導体ウエハのプローブカードにおいて、プローブ針が半導体素子の電極に精度良く接触するプローブカードを提供する。【構成】 半導体ウエハのプローブカードにおいて、プローブ針の先端を加工して、半導体素子の電極に線接触する構造とする。
請求項（抜粋）：
半導体素子に形成された電極部に接触するプローブ針を有し、このプローブ針からの出力によって前記半導体素子の電気的特性を測定するプローブカードにおいて、前記プローブ針の先端部を半導体素子の電極部に線接触する形状にしたことを特徴とするプローブカード。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
