特許

J-GLOBAL ID：200903089899066274

レチクル外観検査装置の画像アライメント方法

発明者： 高山 尚久
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 菅野 中
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-360640
公開番号（公開出願番号）：特開2000-147749
出願日： 1998年12月18日
公開日（公表日）： 2000年05月26日
要約：

【要約】【課題】 アライメントにかかる時間を短縮し、全体の検査時間を飛躍的に短縮する。【解決手段】 レチクル1から取得した光学画像と、レチクルを描画するための参照画像とをアライメントする際、レチクル1の検査面を複数のフレームに分割し、各フレーム毎に前記光学画像と参照画像との比較を行ない、前記比較の際に行なうアライメントは、前段のフレームで行ったアライメントのオフセット量を参照して行なう。

請求項（抜粋）：

レチクルから取得した光学画像と、レチクルを描画するための参照画像とをアライメントするレチクル外観検査装置の画像アライメント方法であって、レチクルの検査面を複数のフレームに分割し、各フレーム毎に前記光学画像と参照画像との比較を行ない、前記比較の際に行なうアライメントは、前段のフレームで行ったアライメントのオフセット量を参照して行なうことを特徴とするレチクル外観検査装置の画像アライメント方法。

IPC (3件)：

G03F 1/08 ,  G01N 21/88 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F 1/08 S ,  G01N 21/88 645 A ,  H01L 21/30 502 V

Fターム (17件)：

2G051AA56 ,  2G051AB02 ,  2G051AB20 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051BC01 ,  2G051BC06 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB02 ,  2G051DA07 ,  2G051EA20 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2H095BD04 ,  2H095BD13 ,  2H095BD28

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平3-170930
  
• 特開平4-295748