特許

J-GLOBAL ID：200903089900734839

液晶表示装置及びその製造方法

発明者： 西村 悦子 ,  高畠 勝 ,  清野 知之 ,  鬼沢 賢一
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 鵜沼 辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-003711
公開番号（公開出願番号）：特開平8-194230
出願日： 1995年01月13日
公開日（公表日）： 1996年07月30日
要約：

【要約】【目的】透明導電膜が関与する段差部分の付周りを改善して断線、短絡不良のない歩留りの向上を図った液晶表示装置及びその製造方法を提供すること。【構成】 液晶表示装置の透明導電膜として、(222)面に対する(400)面のX線回折ピ-ク強度比が25〜75%の範囲で、ほぼランダム配向した多結晶酸化インジウムスズ(ITO)膜101を用いる。均一な大きさの結晶粒が緻密に充填した膜構造となるため、ウエットエッチング法で膜をパタ-ニングする際に結晶粒内及び粒界が均一にエッチングされ、順テ-パ-の良好なエッチング端部形状103が得られる。従って、透明導電膜の段差を他の膜が乗り越える場合に、上層膜の良好な付周りが確保できる。他の膜の段差を透明導電膜が乗り越える場合でも、段差部分での横方向のエッチャントのしみ込みを防止できるため、パタ-ンのエッチング端部からの段切れが低減でき、透明導電膜自身の付周りが確保できる。

請求項（抜粋）：

絶縁基板の一主面上の少なくとも一部に透明導電膜パタ-ンを設けてなる絶縁基板と、絶縁基板の一主面上の少なくとも一部に対向電極を設けてなる絶縁基板を、互いの一主面側が対向するように向い合わせて得られる間隙に液晶を挟持した構造を有する液晶表示装置において、前記透明導電膜は、酸化インジウムに酸化スズが添加された多結晶酸化インジウムスズ(ITO)膜であって、各結晶粒は柱状晶であり、ランダム配向していることを特徴とする液晶表示装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭61-183809
  
• 特開昭63-184726
  
• 特開平4-048516