特許

J-GLOBAL ID：200903089906057480

基板の分割装置

発明者： 井上 胤一 ,  家本 貴生 ,  岡本 康生 ,  久保 秀巳
出願人/特許権者： ローム株式会社
代理人 (1件)： 樋口 豊治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-274250
公開番号（公開出願番号）：特開平5-111900
出願日： 1991年10月22日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：

【要約】【目的】 より高速な基板分割が可能であるとともに、分割用ローラの保全コストをより低減することができる基板分割装置を提供することを目的とする。【構成】 少なくとも2個のローラ間に無端状の搬送ベルトを巻き掛けることによって基板搬送路を形成する一方、上記基板搬送路の前端に、バックアップローラを配置し、さらに上記搬送路の途中適部の上面側に配置したローラと上記バックアップローラとの間に無端状の押さえベルトを巻き掛け、搬送ベルトで搬送される基板が、搬送ベルトと押さえベルトに挟まれながら2つの分割用ローラ間に送り込まれるようになしたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

少なくとも2個のローラ間に無端状の搬送ベルトを巻き掛けることにより、水平ないし略水平状の基板搬送路を形成する一方、上記基板搬送路の搬送方向前端に位置して上記搬送ベルトが巻き掛かるローラを分割ローラとして機能させるべく、このローラの上方にバックアップローラを配置し、かつ、上記搬送路の途中適部の上面側に配置したローラと上記バックアップローラとの間に、無端状の押さえベルトを巻き掛けたことを特徴とする、基板の分割装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭53-148787
  
• 特開平1-148512
  
• 特公昭63-032602