特許

J-GLOBAL ID：200903089915066441

露光装置におけるパネルの位置決め機構

発明者： 鈴木 公雄 ,  川村 高弘
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-202870
公開番号（公開出願番号）：特開平7-037498
出願日： 1993年07月23日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：

【要約】【目的】 パネルを露光位置に確実に位置決めすることができる露光装置におけるパネルの位置決め機構を提供する。【構成】 支持部材1上に載置したパネル2を駆動機3の駆動力により押圧して位置決め部材4に突き当てることにより、パネル2を露光位置に位置決めする露光装置におけるパネルの位置決め機構において、駆動機3の押圧方向A,Bにおいて支持部材1を移動自在に支持するガイドユニット5を設けるとともに、そのガイドユニット5には押圧方向A,Bにおける支持部材1の移動を原点位置に規制するストッパー6,7と、支持部材1を原点位置に引き戻す復帰バネ8,9とを設けた。

請求項（抜粋）：

パネルの内面に蛍光面を形成する露光装置において、前記パネルを載置支持する支持部材と、前記パネルを所定方向に押圧するための駆動機と、前記パネルを露光位置に位置決めするための位置決め部材とを備え、前記支持部材上に載置したパネルを前記駆動機の駆動力により押圧して前記位置決め部材に突き当てることにより、前記パネルを前記露光位置に位置決めするパネルの位置決め機構であって、前記駆動機の押圧方向において前記支持部材を移動自在に支持するガイドユニットと、前記押圧方向における前記支持部材の移動を原点位置に規制するストッパーと、前記支持部材を前記原点位置に引き戻す復帰バネとを具備したことを特徴とする露光装置におけるパネルの位置決め機構。