特許
J-GLOBAL ID：200903089919861734
有機化合物用蒸発源とその精密温度コントロール方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-235883
公開番号（公開出願番号）：特開平6-081129
出願日： 1992年09月03日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【目的】 加熱蒸発させる有機化合物の昇温、降温を速やかに行うことが出来る有機化合物用蒸発源と、その蒸発源を用いて有機化合物を±0.2°C以下の精度で温度コントロールする方法。【構成】 有機化合物を収容するガラス製容器と、該ガラス製容器の壁面に接触させた温調用熱電対と、ガラス製容器内の有機化合物中に挿入せるモニター用熱電対とで構成した高分子膜の有機化合物の有機化合物用蒸発源と、該有機化合物蒸発源を用い、温調用熱電対でガラス製容器の温度コントロールを行うことと、モニター用熱電対で有機化合物の実際温度をモニターする有機化合物の精密温度コントロール方法。
請求項（抜粋）：
真空処理室内で基板上に形成する高分子膜の有機化合物を蒸発させるための蒸発源において、該蒸発源は有機化合物を収容するガラス製容器と、ガラス製容器の加熱を輻射加熱で行うハロゲンランプまたは金属抵抗体から成る加熱装置と、ガラス製容器壁面に接触させた温調用熱電対と、ガラス製容器内の有機化合物中に挿入せるモニター用熱電対とから成ることを特徴とする有機化合物用蒸発源。
IPC (2件)：
引用特許：
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