特許
J-GLOBAL ID：200903089927690752

ウェーハマッピング装置

発明者：
五十嵐 宏

五十嵐 宏 について

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岡部 勉

岡部 勉 について

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宮嶋 俊彦

宮嶋 俊彦 について


出願人/特許権者：
ティーディーケイ株式会社

ティーディーケイ株式会社 について


代理人 (1件)： 岡部 正夫 (外10名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-158458
公開番号（公開出願番号）：特開2002-353293
出願日： 2001年05月28日
公開日（公表日）： 2002年12月06日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】透過式センサを展開収納するための装置をウェーハに近接して配置する必要がなく、透過式センサの展開収納動作時に透過式センサを展開収納するために装置から発生する塵がウェーハを汚染することを防ぐことができるウェーハマツピング装置を提供すること。【解決手段】 ドア6が開口10を塞いでいる際には透過センサ9が固定されたマッピングフレーム5が開口10から離れるように待避しており、ドア6が蓋4を保持して蓋4を分離した後にマッピングフレーム駆動用シリンダ35が動作してマッピングフレーム5が支点41中心に回動することで透過センサ9がポッド2内に挿入され、可動部56が移動することにより透過式センサ9が半導体ウェーハ1を横切るウェーハマッピング装置。
請求項（抜粋）：
開口を有し、鉛直方向に並んだ複数の段のそれぞれに半導体ウェーハが載置可能な棚を有する本体と該本体から分離可能であって該開口を塞ぐ蓋とを備えるポッドが半導体ウェーハ処理装置に固定された際に、該棚の各段の半導体ウェーハの存否を検出するウェーハマッピング装置であって、該蓋を保持可能なドアと、一端が該ドアにとりつけられ、第1の支点を中心にドア開閉用駆動装置により枢動可能に支持されるドアアームとを備える蓋開閉ユニットと、一対の透過式センサを有するマッピングフレームと、一端がマッピングフレームにとりつけられ、第2の支点を中心にマッピングフレーム駆動装置により回転可能に支持されるマッピングフレームアームとを備えるマッピングフレームと、該ドア開閉用駆動装置と該マッピングフレーム駆動装置と該第1の支点および該第2の支点を支持する支点支持部とを備え、該半導体処理装置に対してドア開閉用駆動装置と該マッピングフレーム駆動装置と該支点支持部とを前記鉛直方向に移動可能な可動部と、該ドアが該蓋を保持し前記ドア開閉用駆動装置の駆動により該ドアアームが該支点中心に回動して該ポッドから該蓋を分離した後に、前記マッピングフレーム駆動装置の駆動により該マッピングフレームが該支点中心に回動することで前記一対の透過式センサが該開口から該ポッド内に挿入され、該可動部が移動することにより該一対の透過式センサのそれぞれを結ぶ線が前記段に載置された半導体ウェーハを横切ることを特徴とするウェーハマッピング装置。
FI (2件)：
H01L 21/68 L ,  H01L 21/68 T
Fターム (19件)：
5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031EA14 ,  5F031GA25 ,  5F031GA36 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031JA05 ,  5F031JA13 ,  5F031JA14 ,  5F031JA23 ,  5F031JA32 ,  5F031JA36 ,  5F031LA15 ,  5F031MA15 ,  5F031NA02 ,  5F031NA10 ,  5F031NA16 ,  5F031NA18
引用特許：
審査官引用 (3件)

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