特許
J-GLOBAL ID：200903089938874448
ウエハー乾燥方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福森 久夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-266384
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120199
出願日： 1992年10月05日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】 ウエハー乾燥と水素ターミネートの同時処理が可能で、大量処理、工程削減が実施され、汚染が無く、かつ完全な水素ターミネートが可能なウエハー乾燥方法を提供することを目的とする。【構成】 イナートガスと水素ガスを混合する混合ガス製造工程と前記混合ガス中の水素をラジカル化する水素ラジカル製造工程と水素ラジカルを含んだ第一の混合ガスを乾燥チャンバーに導入するガス導入工程と乾燥チャンバー内で第一の混合ガスにより薬液洗浄工程後のウエハーを乾燥すると同時にダングリングボンドに対し水素ターミネートする乾燥工程とからなることを特徴とするウエハー乾燥方法。
請求項（抜粋）：
イナートガスと水素ガスを混合する混合ガス製造工程と前記混合ガス中の水素をラジカル化する水素ラジカル製造工程と水素ラジカルを含んだ第一の混合ガスを乾燥チャンバーに導入するガス導入工程と乾燥チャンバー内で第一の混合ガスにより薬液洗浄工程後のウエハーを乾燥すると同時にダングリングボンドに対し水素ターミネートする乾燥工程とからなることを特徴とするウエハー乾燥方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 361
, H01L 21/304 351
