特許
J-GLOBAL ID：200903089940199863
磁気ヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 学
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-098984
公開番号（公開出願番号）：特開2000-293809
出願日： 1999年04月06日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：
【要約】【課題】電気特性等の欠格を有する磁気ヘッド用の素子を正確で能率良く除去し、磁気ヘッドの生産性を向上さ得る磁気ヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】基板2の上にリリース層4を介して、追って磁気ヘッドの一部となる多数の素子10を有するデバイス6層を形成したウェハ1に対し、デバイス層6における各素子10ごとに電気特性及び/又は外観等を検査する工程と、上記デバイス層6の各素子10を相互に分離するために、デバイス層6の中間に達する深さの凹溝24及び上記リリース層4に達する深さの凹溝22を各素子10間に沿って形成する際、上記検査工程で欠格と判定された素子10aに対しても同様の凹溝26を形成する工程と、を含む磁気ヘッドの製造方法。
請求項（抜粋）：
基板の上にリリース層を介して、磁気ヘッドとなる多数の素子を有するデバイス層を形成したウェハに対し、上記デバイス層の各素子ごとに電気特性及び/又は外観等を検査する工程と、上記デバイス層の各素子を相互に分離するために、デバイス層の中間に達する凹溝及び上記リリース層に達する凹溝を各素子間に沿って形成する際、上記検査工程で欠格と判定された素子に対しても同様の凹溝を形成する工程と、を含む、ことを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G11B 5/127 Z
, G11B 5/31 M
5D033AA02
, 5D033BA51
, 5D033CA10
, 5D033DA13
, 5D033DA31
, 5D093AA04
, 5D093AB03
, 5D093AC04
, 5D093AC08
, 5D093AD05
, 5D093AE01
, 5D093HA19
