特許

J-GLOBAL ID：200903089942829317

ステージ装置及び露光装置

発明者： 田中 慶一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-341844
公開番号（公開出願番号）：特開2001-160530
出願日： 1999年12月01日
公開日（公表日）： 2001年06月12日
要約：

【要約】【課題】 2つのステージを入れ替える際に、それらのステージ上の物体に位置ずれが生ずるのを防止し、かつステージ上の物体に対して並行して別々の処理を行う。【解決手段】 ステージWST1、WST2は、移動体62、64をX軸方向に移動させることにより、磁気力等を利用して移動体62、64に対して非接触で入れ替え可能に構成されている。また、ステージWST1、WST2は、それぞれ固定子68、76との間でY軸方向のローレンツ力を発生する可動子をそれぞれ備えている。従って、入れ替えの際に、各ステージに衝撃力が作用することがなく、各ステージ上の基板W1、W2に位置ずれが生じるのが防止されるとともに、両ステージWST1、WST2を同時並行して駆動しながら基板W1、W2に対して別々の処理を行うことが可能となる。

請求項（抜粋）：

第1方向に伸びる第1固定子と;前記第1方向に伸びるとともに、前記第1方向と直交する第2方向に沿って前記1固定子から所定間隔隔てて配置された第2固定子と;前記第1固定子及び前記第2固定子と協働可能な移動子と;前記移動子を、前記第1固定子及び前記第2固定子の一方に対して、前記協働できる位置に選択的に非接触で位置決めする位置決め装置とを備えることを特徴とするステージ装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 ,  B23Q 5/28

FI (4件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 K ,  B23Q 5/28 ,  H01L 21/30 515 G

Fターム (36件)：

5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA12 ,  5F031GA43 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA13 ,  5F031HA16 ,  5F031HA53 ,  5F031HA55 ,  5F031JA06 ,  5F031JA14 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031JA31 ,  5F031JA32 ,  5F031JA35 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA08 ,  5F031KA14 ,  5F031LA02 ,  5F031LA04 ,  5F031LA08 ,  5F031MA09 ,  5F031MA27 ,  5F031NA04 ,  5F031PA30 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CC01 ,  5F046CC04 ,  5F046CC13 ,  5F046CC16 ,  5F046CC19