透過型電子顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：青木健二 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-073455
公開番号（公開出願番号）：特開2000-268761
出願日： 1999年03月18日
公開日（公表日）： 2000年09月29日
要約：

【要約】【課題】蛍光板等の観察像の輝度を測定する機構を利用することなく、電子顕微鏡の観察像を写真撮影するための露光時間を決定する。【解決手段】試料4の透過像がTVカメラ7で撮影されて、モニタ11で表示される。また、信号処理回路9からの輝度コントラスト信号と出力回路10からの1フレーム当たりの平均輝度信号がそれぞれ顕微鏡制御回路16に入力される。試料4の透過像のフィルム撮影時、フィルムカメラ12でフィルム13が試料4を透過した電子ビームの領域内にセットされる。顕微鏡制御回路16は、入力された輝度コントラスト信号と1フレーム当たりの平均輝度信号とに基づいて適切な露光時間を決定し、決定した露光時間をシャッタ駆動回路14に出力する。すると、シャッタ駆動回路14は入力された露光時間に基づいてシャッタ4を制御することにより、フィルム面上に適切な黒化度で試料4の透過像が記録される。

請求項（抜粋）：

試料を透過した電子の透過ビームによる試料の観察像を撮像管で観察するとともに、フィルムカメラにより前記試料の観察像をフィルム撮影して前記観察像のフィルム画像を得るようになっている透過型電子顕微鏡において、前記フィルム撮影を行うシャッタと、このシャッタを駆動するシャッタ駆動回路と、前記撮像管で得られた前記観察像の輝度信号が入力されかつこの輝度信号に基づいて露光時間を決定するとともに、決定した露光時間に基づいて前記シャッタ駆動回路を制御する制御手段とを少なくとも備えていることを特徴とする透過型電子顕微鏡。

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