特許
J-GLOBAL ID：200903089947851930
メカノケミカル研磨法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
吉島 寧 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-119548
公開番号（公開出願番号）：特開平5-285805
出願日： 1992年04月14日
公開日（公表日）： 1993年11月02日
要約：
【要約】【目的】 研削装置と同一の装置を用いて無歪鏡面研磨を可能とする。【構成】 超精密研削装置を用いて研削した後、研削砥石に替えてメカノケミカル砥石を同一装置に装着して同一研削表面を最終研磨し、無歪鏡面得ることができた。
請求項（抜粋）：
超精密研削装置にメカノケミカル砥石を装着して無歪鏡面研磨を行うことを特徴とするメカノケミカル研磨法
IPC (3件)：
B24B 1/00
, B24B 37/00
, H01L 21/304 321
