特許

J-GLOBAL ID：200903089951670916

電子顕微鏡の試料支持方法および装置

発明者： 浮穴 基英 ,  二村 和孝 ,  植森 龍治 ,  森川 博文
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 平木 道人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-341036
公開番号（公開出願番号）：特開平6-168689
出願日： 1992年11月30日
公開日（公表日）： 1994年06月14日
要約：

【要約】【目的】 予定の姿勢で繰り返し保持することの困難な試料を、簡単かつ容易に同一姿勢で保持できるようにする。【構成】 極細の観察用針状試料18Aおよび非点補正・位置決め用針状試料19Aをそれぞれ一端に有する棒状の試料保持具18、19は、各針状試料18A、19Aの先端がX軸と電子線光軸との交点において対向かつ近接するように試料台17の突起23A,23Bによって挟持されている。試料保持具18は、針状試料18Aおよび挟持部18Bによって構成され、針状試料18Aは挟持部18Bの一端に溶接されている。試料台17は、針状試料18Aの先端が電子線光軸8とX軸との交点を通り且つX軸と直交するY軸の周りで回転可能なるように、ピボット24を介して回転自在に支持されている。

請求項（抜粋）：

予定の姿勢で挟持することの困難な極薄ないしは極細試料を観察する電子顕微鏡の試料支持装置であって、予定の姿勢で挟持することの容易な形状を有し、一端に第1の試料が一体化された第1の試料保持具と、前記第1の試料保持具を挟持する試料台と、電子線光軸と実質的に直交する第1の中心軸の周りで回転可能な回転体と、試料台を前記回転体の一端で保持する保持手段とを具備し、前記試料台は、第1の試料の先端が電子線光軸と第1の中心軸との交点に位置するように、前記第1の試料保持具を微動させる試料微動機構を具備したことを特徴とする電子顕微鏡の試料支持装置。