特許
J-GLOBAL ID：200903089958660720
冷却型固体撮像装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
長谷川 芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-182764
公開番号（公開出願番号）：特開平7-038019
出願日： 1993年07月23日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】 分光分析などの計測により適し、かつコンパクト化を安価に行う。【構成】 本発明の冷却型固体撮像装置は、パッケージ210内に固体撮像素子310とこの固体撮像素子310を冷却するためのペルチェ素子220を内蔵した冷却型固体撮像装置であって、パッケージ210の底部に、電子冷却素子220からの熱を放熱する良好な熱伝導率の放熱部材270と、この放熱部材270の温度を検出するためのセンサー230とを備え、ガラス窓250は、外枠280とガラス窓250の熱膨脹率が同じ材料260で融着され、固体撮像素子310は、オンチップで形成された1つまたは複数の温度検出素子を有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
パッケージ内に固体撮像素子とこの固体撮像素子を冷却するための電子冷却素子を内蔵した冷却型固体撮像装置であって、前記パッケージの底部に、前記電子冷却素子からの熱を放熱する良好な熱伝導率の放熱部材と、この放熱部材の温度を検出するためのセンサーとを備え、前記パッケージのガラス窓は、前記パッケージの外枠と前記ガラス窓の熱膨脹率が同じ材料で融着され、前記固体撮像素子は、オンチップで形成された1つまたは複数の温度検出素子を有することを特徴とする冷却型固体撮像装置。
IPC (3件)：
H01L 23/34
, H01L 23/38
, H01L 27/14
出願人引用 (3件)
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特開昭54-139423
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特開平2-044872
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特開昭62-285449
審査官引用 (6件)
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