特許

J-GLOBAL ID：200903089960752240

研磨シート及びその製造方法

発明者： 渡辺 信義
出願人/特許権者： 日本ミクロコーティング株式会社
代理人 (1件)： 竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-072453
公開番号（公開出願番号）：特開平8-243931
出願日： 1995年03月07日
公開日（公表日）： 1996年09月24日
要約：

【要約】【目的】 研磨シートの研磨面の平坦性を向上させ、被研磨物表面に研磨によって形成される凹凸を減少させた、精密な研磨に適した研磨シート及びその製造方法を提供する。【構成】 研磨シートは、研磨材粒子(1)とバインダー接着剤(2)とを混合したスラリー(3)を乾燥させた研磨層(3′)をプラスチックシート基板(6)に接着させて成る研磨シートにおいて、研磨材粒子(1)とバインダー接着剤(2)とを混合したスラリー(3)を可剥離部材(4)の表面(4′)に塗布した後にこのスラリー(3)を乾燥させて可剥離部材(4)の表面(4′)に研磨層(3′)を形成し、接着剤(5)を塗布したプラスチックシート基板(6)を研磨層(3′)の表面に重ねて接着し、プラスチックシート基板(6)と共に研磨層(3′)を可剥離部材(4)から剥離させることによって、可剥離部材(4)の表面(4′)に接していた研磨層(3′)の表面に形成された、可剥離部材(4)からの剥離面を当該研磨シートの研磨面(9)とした。

請求項（抜粋）：

研磨材粒子とバインダー接着剤とを混合したスラリーを乾燥させた研磨層をプラスチックシート基板に接着させて成る研磨シートにおいて、前記スラリーを可剥離部材の表面に塗布し乾燥させて前記可剥離部材の表面に前記研磨層を形成させた後に、接着剤を塗布した前記プラスチックシート基板を前記研磨層の表面に重ねて接着し、前記プラスチックシート基板と共に前記研磨層を前記可剥離部材から剥離させることによって、前記可剥離部材の表面に接していた前記研磨層の表面に形成された、前記可剥離部材からの剥離面を当該研磨シートの研磨面としたことを特徴とする、研磨シート。

FI (2件)：

B24D 11/00 Q ,  B24D 11/00 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-185375
  
• 特開平1-171771
  
• 特開昭52-065391
  
• 特開平2-083172