特許

J-GLOBAL ID：200903089962947278

長波長垂直方向キャビティレーザーの波長分別多重方式アレイ

発明者： ジャヤラマン,ビジャイセクハー ,  ジェスク,ジョナサン ,  ピーターズ,フランク
出願人/特許権者： ゴア エンタープライズ ホールディングス,インコーポレイティド
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-617530
公開番号（公開出願番号）：特表2002-544674
出願日： 2000年04月25日
公開日（公表日）： 2002年12月24日
要約：

【要約】半導体デバイスは、短波長光ポンプによってポンピングされる長波長VCSELアレイを有している。長波長VCSELアレイは一連の半導体凹部を有しており、各半導体凹部は、VCSELの2つの層の間に位置していて、作動中VCSELの横方向形状に実質的にオーバラップする。

請求項（抜粋）：

垂直方向キャビティ表面放射レーザー(VCSEL)において波長調整するための方法であって、 第1のウェーハにVCSELの第1の部分を設け、 第2のウェーハにVCSELの第2の部分を設け、 前記第1または第2の部分の一方にエッチングで少なくとも1つの凹部を形成し、さらに、 動作中のVCSELの横方向形状に実質的にオーバラップする位置に、埋込半導体凹部が形成されるように前記第1のウェーハと第2のウェーハとを結合するステップを含むことを特徴とする、垂直方向キャビティ表面放射レーザー(VCSEL)において波長調整するための方法。

IPC (3件)：

H01S 5/183 ,  H01S 5/04 ,  H01S 5/42

FI (3件)：

H01S 5/183 ,  H01S 5/04 ,  H01S 5/42

Fターム (9件)：

5F073AA74 ,  5F073AB06 ,  5F073AB17 ,  5F073BA01 ,  5F073CA04 ,  5F073CA12 ,  5F073CB02 ,  5F073DA22 ,  5F073EA02