特許

J-GLOBAL ID：200903089974515934

荷電粒子ビーム装置における焦点合わせ方法

発明者： 浅利 敏弘
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
代理人 (1件)： 井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-012662
公開番号（公開出願番号）：特開平9-204892
出願日： 1996年01月29日
公開日（公表日）： 1997年08月05日
要約：

【要約】【目的】 ビームに非点があっても、正確にビームの焦点合わせを行うことができる荷電粒子ビームにおける焦点合わせ方法を実現する。【構成】 検出器12によって検出された2次電子信号は、増幅器13によって増幅された後、信号微分ユニット15に供給される。微分された信号は絶対値反転ユニット16において負の信号が反転された後、積分ユニット17で積分処理が行われる。従って、記憶ユニット18には、ダイナミックフォーカスレンズ10の各励磁ステップごとの積分ユニット16の積分値が記憶される。自己相関処理ユニット19は、記憶ユニット18に記憶された各値に基づいて自己相関関数処理を実行し、最適焦点位置(レンズ値)を求める。

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビームを試料上に集束するための集束レンズの強度をステップ状に変化させ、その変化の都度、試料上の荷電粒子ビームの照射位置を走査し、この走査に伴って検出された信号を積算して記憶し、記憶された複数の信号Pi(i=1,2,...,n)の全部あるいは一部について、次の式【数1】に基づき、自己相関関数処理を行い、得られたR(i)の複数の値から最大値が得られたときの集束レンズの強度を得、その強度に集束レンズ強度の設定を行うようにした荷電粒子ビーム装置における焦点合わせ方法。