特許
J-GLOBAL ID：200903089982109880
透明導電膜エッチング組成物
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-307034
公開番号（公開出願番号）：特開2007-142409
出願日： 2006年11月13日
公開日（公表日）： 2007年06月07日
要約：
【課題】薄膜トランジスタ液晶表示装置などの製造時に透明導電膜の選択的なエッチングのために使用されるエッチング組成物であってTFTを構成するゲート配線材料であるMo/Al-Nd二重膜とソース/ドレイン配線材料であるMo単一膜に影響を与えず、形成される透明導電膜のプロファイルが優れ、エッチング速度が速くてLCD製造原価節減および工程収率を向上させる効果がある透明導電膜エッチング組成物を提供する。【解決手段】本発明による透明導電膜エッチング組成物は、a)水溶液中でCl-に解離され得る塩素化合物0.1〜5重量%;b)水溶液中でNO3-に解離され得る化合物0.1〜5重量%;およびc)残量の水を含むことを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
透明導電膜エッチング組成物であって、
a)水溶液中でCl-に解離され得る塩素化合物0.1〜5重量%;
b)水溶液中でNO3-に解離され得る化合物0.1〜5重量%;および
c)残量の水
を含むことを特徴とする透明導電膜エッチング組成物。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/306 F
, G02F1/1343
2H092HA03
, 2H092JA24
, 2H092KA18
, 2H092MA18
, 2H092NA27
, 2H092NA29
, 5F043AA21
, 5F043BB14
, 5F043DD13
