特許

J-GLOBAL ID：200903089989216348

感光性樹脂組成物

発明者： 田中 明 ,  坂本 圭 ,  伊藤 健一 ,  米田 泰博 ,  横内 貴志男 ,  水谷 大輔 ,  石月 義克
出願人/特許権者： 日本ゼオン株式会社 ,  富士通株式会社
代理人 (1件)： 西川 繁明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-090243
公開番号（公開出願番号）：特開平9-258440
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 感度、解像性などに優れ、保存安定性が良好で、比較的低温でキュア可能であり、膜の残留応力が小さいポリイミド系の感光性樹脂組成物を提供すること。【解決手段】 (A)化学線官能基を両末端に有するポリアミック酸化合物、(B)ポリアミック酸化合物のカルボキシル基を光架橋可能な基でエステル化してなるポリアミック酸エステル化合物、(C)光重合性官能基を有する感光助剤、(D)光重合開始剤、及び(E)溶剤を含有する感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)式(1)で表される基Z1及び式(2)で表される基Z2からなる群より選ばれる少なくとも一種の化学線官能基を両末端に有するポリアミック酸化合物、【化1】(式中、Xは、単結合、-O-、-CO-、-COO-、-OCO-、-OCOO-、-COCH2O-、-S-、-SO-、-SO2-または-SO2O-であり、R3、R4、R5、R6及びR7は、光重合可能な炭素-炭素二重結合を有する置換基であり、mは、0または1であり、nは、1〜3の整数である。)【化2】(式中、R3、R4、R5、R6及びR7は、光重合可能な炭素-炭素二重結合を有する置換基であり、mは、0または1である。)(B)ポリアミック酸化合物のカルボキシル基を光架橋可能な基でエステル化してなるポリアミック酸エステル化合物、(C)光重合性官能基を有する感光助剤、(D)光重合開始剤、及び(E)溶剤を含有する感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/027 514 ,  G03F 7/027 502 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/038 504 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (6件)：

G03F 7/027 514 ,  G03F 7/027 502 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/038 504 ,  H01L 21/312 B ,  H01L 21/30 502 R

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特許第3378379号
  
• 特許第3378375号
  
• 特許第3378379号
  
• 特許第3378375号